Preparation and Characterization of Mixed Metal Oxide Layers using Reactive Combinatorial Sputtering

Thumbnail
Megtekintés/Megnyitás
Metaadat
Teljes megjelenítés
Link a dokumentumra való hivatkozáshoz:
http://hdl.handle.net/20.500.14044/40886
Gyűjtemény
Absztrakt
Combinatorial DC sputtering method of metal oxides is presented onto a 30x30cm substrate. Specifically tungsten a molybdenum oxides were deposited and characterized for electrochromic and sensoric purposes. Mapping ellipsometry combined with RBS proves the presence of the continuous composition range in the layers. Samples of amorphous character were tested for electrochromic properties in organic electrolyte. Combinatorial deposition of non-stoichiometric suboxides for VOC gas sensing also presented.
Cím és alcím
Preparation and Characterization of Mixed Metal Oxide Layers using Reactive Combinatorial Sputtering
A könyvrészlet száma
7.
Szerző
Labadi, Z.
Petrik, P.
Georghe, M.
Moldovan, C.
Fried, M.
Szerkesztő
Fried, Miklós
Megjelenés ideje
2020
Hozzáférés szintje
Open access
Konferencia címe
Anyagtudományi Szimpózium
Konferencia ideje
2020. Szeptember 23-25.
Nyelv
en
Terjedelem
3 p.
Tárgyszó
sputtering, electrochromism, gas sensors
Változat
Kiadói változat
A cikket/könyvrészletet tartalmazó dokumentum címe
Anyagtudományi Szimpózium (Symposium on Materials Science)
A forrás folyóirat éve
2020
ISBN, e-ISBN
978-963-449-236-8
Műfaj
Konferenciaközlemény
Tudományterület
Műszaki tudományok - anyagtudományok és technológiák
Egyetem
Óbudai Egyetem
Kar
Kandó Kálmán Villamosmérnöki Kar