Rádiófrekvenciás porlasztással előállított szilícium és szilíciumnitrid vékonyrétegek vizsgálata tézisek
| Balázsi, Csaba | ||
| Balázsi, Katalin | ||
| Hegedüs, Nikolett | ||
| 2025-03-27T12:30:08Z | ||
| 2025-03-27T12:30:08Z | ||
| 2023 | ||
| http://hdl.handle.net/20.500.14044/28570 | ||
| dc.format | hu_HU | |
| hu | hu_HU | |
| Rádiófrekvenciás porlasztással előállított szilícium és szilíciumnitrid vékonyrétegek vizsgálata tézisek | hu_HU | |
| n.a. | hu_HU | |
| Open access | hu_HU | |
| Óbudai Egyetem | hu_HU | |
| 2023 | ||
| Budapest | hu_HU | |
| local.doctoralSchool | Biztonságtudományi Doktori Iskola | hu_HU |
| Óbudai Egyetem | hu_HU | |
| Műszaki tudományok - multidiszciplináris műszaki tudományok | hu_HU | |
| Doktori (Ph.D.) értekezés / Ph.D. Thesis | hu_HU | |
| local.tempfieldCollections | Disszertációk | hu_HU |
| Kiadói változat | hu_HU | |
| 115 p. | hu_HU |