Rádiófrekvenciás porlasztással előállított szilícium és szilíciumnitrid vékonyrétegek vizsgálata tézisek

Megtekintés/Megnyitás

Hegedus_Nikolett_tezisfuzet.pdf (330.6KB)

Hegedus_Nikolett_ertekezes .pdf (4.571MB)

Metaadat

Teljes megjelenítés

Link a dokumentumra való hivatkozáshoz:

http://hdl.handle.net/20.500.14044/28570

Gyűjtemény

• Anyagtudományok és Technológiák Doktori Iskola [28]